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結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，布局緊湊：外形尺寸小，占地面積少，運(yùn)行穩(wěn)定，操作方便，運(yùn)行、保養(yǎng)和維修成本較低。

工作無(wú)油：泵腔體內(nèi)無(wú)潤(rùn)滑介質(zhì)，內(nèi)部無(wú)油，不耗油，無(wú)滴漏，不用擔(dān)心高真空狀態(tài)下油氣返流至客戶端，無(wú)油氣和油霧排放，可獲得潔凈真空，可抽含有少量小顆粒的空氣，轉(zhuǎn)子不易磨損，運(yùn)行平穩(wěn)，使用壽命長(zhǎng)?？沙榭赡詺怏w。轉(zhuǎn)子有防腐涂層，不易腐蝕。

水冷設(shè)計(jì)：干式螺桿泵采用水冷設(shè)計(jì)，提高冷卻效率，降低真空泵溫度。

真空度高，抽速大：前級(jí)泵為干式螺桿泵，采用專為其開發(fā)的轉(zhuǎn)子型線，型線密封好，變螺距轉(zhuǎn)子，結(jié)構(gòu)更復(fù)雜，精度更高，可高速運(yùn)轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子無(wú)接觸，無(wú)需潤(rùn)滑介質(zhì)，極限真空度高。在接近極限真空度的過(guò)程中，抽氣速率會(huì)不斷降低，這時(shí)作為主泵的羅茨泵發(fā)揮其優(yōu)勢(shì)，為機(jī)組提供抽速，在高真空區(qū)域也可保證較大抽速，能耗較小。